【行業(yè)動態(tài)】機遇背后,MEMS挑戰(zhàn)尚在
MEMS傳感器即運用了MEMS技術的傳感器。MEMS傳感器由傳感器、信息處理單元、執(zhí)行器和通訊/接口單元等組成。其輸入信號通過傳感器轉(zhuǎn)換為電信號,經(jīng)過信號處理(模擬的/數(shù)字的)后,由執(zhí)行器與外界產(chǎn)生作用。每一個微系統(tǒng)可以采用數(shù)字或模擬信號(電、光、磁等物理量)與其他的微系統(tǒng)進行通信。與傳統(tǒng)傳感器相比
2025-02-18