對于半導體這類工藝精密和環(huán)境敏感的領(lǐng)域來說，從加工環(huán)節(jié)到最終儲存，傳感器設備的靈敏度、精確度以及自身性能表現(xiàn)在其中起著至關(guān)重要的作用。

加工環(huán)節(jié)

真空沉積和深反應離子刻蝕(DRIE)等現(xiàn)代半導體加工工藝

這些工藝需要對各種氣體進行快速控制，Sensirion質(zhì)量流量控制器能夠非常快速地控制/切換工藝氣體，并可用于表面涂覆和處理工藝，保證處理速度的同時能夠兼顧質(zhì)量。

清潔處理

采用深反應離子刻蝕(DRIE)工藝對晶圓表面做清潔處理時，工藝氣體的更換必須非常迅速。Sensirion質(zhì)量流量控制器具有超快響應速度，可提高處理質(zhì)量。

超快處理速度

采用深反應離子蝕刻(DRIE)工藝處理晶圓時，必須迅速更換不同工藝氣體。Sensirion質(zhì)量流量控制器具有超短響應時間，可加快工藝速度。

長期穩(wěn)定性

質(zhì)量流量控制器可長期保持高度穩(wěn)定性，因此系統(tǒng)無需暫停運行以重新校準。

儲存環(huán)節(jié)

存儲半導體芯片的核心工具 (FOUP)

FOUP是儲存半導體芯片的重要工具，也是潔凈室環(huán)境的一個組成部分。Sensirion的產(chǎn)品在尺寸、精度和性能上具備優(yōu)勢，可以輕松地集成到晶圓載體系統(tǒng)中，從而提高系統(tǒng)的可靠性和性能。

精確的環(huán)境控制

通過清洗FOUP并注入氮氣，控制存儲晶圓的環(huán)境。在預處理過程中也可以注入其他氣體，用于生產(chǎn)更精細的芯片（例如GAA芯片和3nm芯片）。

實時監(jiān)控

FOUP可以持續(xù)監(jiān)測濕度、氧氣和空氣中的分子污染物等參數(shù)，避免顆粒在晶圓表面沉積和氧化。

安全運輸和自動化處理

自動化可確保晶圓安全送到潔凈室，同時盡可能降低處理不當?shù)娘L險，最終優(yōu)化制造工藝并提高吞吐量。

Sensirion傳感器解決方案還適用于其他工業(yè)應用，如晶圓清洗機、玻璃鍍膜和加工、光伏鍍膜設備、氣相色譜法、生物反應器及工業(yè)自動化等領(lǐng)域。

基于熱式測量原理和Sensirion成熟的CMOSens? MEMS技術(shù)，SFC系列質(zhì)量流量控制器被廣泛應用于工業(yè)領(lǐng)域設備，在速度、精確度和動態(tài)范圍方面獲得一致好評。其核心是內(nèi)含的高精度傳感器元件，在單個芯片上集成先進的信號處理功能。即使是在低流速的條件下，Sensirion技術(shù)在精確度和重復性方面也能達到相當高的水準，同時Sensirion質(zhì)量流量控制器零漂移，且無需現(xiàn)場重新校準。

“工”欲善其事  必先利其“器”

 SFC6000  更高性價比

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選購指南

滿量程流速

所有的質(zhì)量流量控制器同時提供流量計版本 - SFM系列（不帶閥門）。它們具有與MFC變體相同的性能和可配置性，更具性價比。

隨著工業(yè)自動化程度的不斷提高以及物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等多項技術(shù)的不斷發(fā)展，Sensirion也將憑借其核心技術(shù)和定制化服務的優(yōu)勢在更多領(lǐng)域發(fā)揮強大潛力，讓我們共同期待Sensirion為未來工業(yè)領(lǐng)域帶來更多創(chuàng)新和變革。