在日益迅猛發(fā)展的工業(yè)生產(chǎn)中，產(chǎn)品表面的平整度是衡量產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。平整度檢測(cè)廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)，如電子行業(yè)中電池或手機(jī)外殼的平面度檢測(cè)、半導(dǎo)體行業(yè)中液晶面板的平面度檢測(cè)等。

在傳統(tǒng)的平整度檢測(cè)中存在效率低、精度差等問題，而LVDT（線性可變差動(dòng)變壓器）傳感器以其高精度、高可靠性、無(wú)摩擦測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，在物體平整度檢測(cè)中得到了廣泛應(yīng)用。

工作原理

LVDT是一種電磁感應(yīng)式傳感器，其工作原理基于法拉第電磁感應(yīng)定律。LVDT由一個(gè)初級(jí)線圈和兩個(gè)次級(jí)線圈組成，線圈纏繞在一個(gè)鐵芯上。當(dāng)鐵芯位于中心位置時(shí)，兩個(gè)次級(jí)線圈的輸出電壓相等，相位相反，抵消后輸出電壓為零。

當(dāng)鐵芯沿軸向移動(dòng)時(shí)，兩個(gè)次級(jí)線圈的輸出電壓發(fā)生變化，差值與鐵芯的位移成線性關(guān)系。通過(guò)測(cè)量輸出電壓的變化，可以精確地測(cè)量鐵芯的位移。

LVDT外殼通常采用不銹鋼保護(hù)套，中間包裹具有高磁導(dǎo)率的磁屏蔽層以及防潮層，可在強(qiáng)磁場(chǎng)、大電流、潮濕、粉塵等惡劣環(huán)境下使用，部分工業(yè)級(jí)LVDT采用特種材料（如陶瓷密封或哈氏合金外殼），可在250°C高溫或1000bar高壓環(huán)境下工作。

主要特點(diǎn)

01.無(wú)摩擦測(cè)量

在使用過(guò)程中，鐵芯和線圈之間沒有機(jī)械接觸，因此LVDT不存在蹭擦、拖曳或其他摩擦途徑。

02.機(jī)械壽命無(wú)限長(zhǎng)

由于鐵芯和線圈之間通常沒有接觸，因此LVDT沒有部件會(huì)相互摩擦或磨損。

03.無(wú)限的分辨率

無(wú)限的分辨率理論上具有無(wú)限分辨率，實(shí)際分辨率可達(dá)微米甚至納米級(jí)，具體取決于信號(hào)調(diào)理電路的性能。在無(wú)摩擦結(jié)構(gòu)中根據(jù)電磁耦合原則操作，LVDT可以測(cè)量鐵芯位置極小的變化。

04.零位可重復(fù)性

LVDT固有零點(diǎn)位置非常穩(wěn)定且可重復(fù)，即使超過(guò)其很寬的工作溫度范圍也是一樣的。

05.軸向抑制

LVDT對(duì)于鐵芯的軸向運(yùn)動(dòng)非常敏感，徑向運(yùn)動(dòng)相對(duì)遲鈍，這樣LVDT可以用于測(cè)量不是按照精準(zhǔn)直線運(yùn)動(dòng)的鐵芯。

06.快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)

由于常規(guī)操作過(guò)程中不存在摩擦，因此LVDT可以很快地響應(yīng)鐵芯位置的變化。

07.絕對(duì)輸出

LVDT輸出為與位置直接相關(guān)的模擬信號(hào)，如果發(fā)生斷電，無(wú)需重新校準(zhǔn)即可恢復(fù)測(cè)量（斷電后需重新上電才能獲取當(dāng)前位移值）。

LVDT常見【平整度檢測(cè)】應(yīng)用

01.工件表面平整度檢測(cè)

通過(guò)將LVDT探頭接觸工件表面，可以測(cè)量工件表面的高度變化，從而評(píng)估其平整度。

02.板材平整度檢測(cè)

在板材生產(chǎn)過(guò)程中，通過(guò)陣列式LVDT布局，配合自動(dòng)化掃描機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸板材的全表面平整度映射。

03.晶圓平整度檢測(cè)

在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓的平整度對(duì)芯片的性能有重要影響。LVDT可以用于精確測(cè)量晶圓表面的平整度。（注意：在晶圓平整度檢測(cè)中，LVDT需配合輕量化探頭和低接觸力設(shè)計(jì)，適用于對(duì)表面無(wú)損傷要求的場(chǎng)景。）

蘭寶LVDT接觸式位移傳感器

◆ 微米級(jí)重復(fù)精度；

◆ 5-20mm多量程可選；

◆ 輸出方式全面，開關(guān)量，模擬量，RS485可選；

◆ 低至3N的感應(yīng)頭壓力，無(wú)論金屬還是玻璃表面都可以無(wú)磨損檢測(cè)；

◆ 外形尺寸豐富，滿足各種應(yīng)用空間。